Holst Centre zet nieuwe stap in microfabricage met maskless stepper
Eindhoven, vrijdag, 11 juli 2025.
Het Holst Centre in Eindhoven heeft een nieuwe maskless stepper in gebruik genomen. Deze VPG 300 DI van Heidelberg Instruments maakt het mogelijk om structuren tot 1 µm te realiseren. Koperen lijnen en chip-to-chip interconnecties kunnen nu veel kleiner en preciezer worden gefabriceerd. Deze investering versterkt de positie van het Holst Centre in de Brainport regio. De machine kan een gebied van 100x100 mm2 in slechts 9 minuten beschrijven. Dit is cruciaal voor de ontwikkeling van toekomstige elektronica en sensoren.
Nauwkeurige microstructuren
De VPG 300 DI maskless stepper is ontworpen voor het direct schrijven van microstructuren met hoge resolutie op wafers tot 300 mm [1]. Het systeem is geschikt voor product prototyping, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) en de fabricage van structuren met onbeperkte chipgroottes [2]. De machine maakt gebruik van een 355nm DPSS laser [2]. De VPG 300 DI maakt snelle ontwerpiteraties en geoptimaliseerde productieprocessen mogelijk [1][2]. Auke Jisk Kronemeijer, Research Manager Thin Film Electronics bij TNO @ Holst Centre, benadrukt het belang van de VPG voor onderzoek en ontwikkeling [1][2].
Technische specificaties
De VPG 300 DI kan structuren kleiner dan 500 nm produceren met een superieure randkwaliteit van minder dan 40 nm (3σ) en een CD (Critical Dimension) uniformiteit van minder dan 50 nm (3σ) [1]. Het systeem biedt een topside alignment nauwkeurigheid tot 100 nm [1]. Dynamic autofocus compenseert voor wafer kromming of topografie variaties groter dan 160 µm [1]. De machine is gebouwd op het VPG+ platform met een Zerodur® stage met hoge stabiliteit [1][2].
Toepassingen en context
De voornaamste toepassingen voor de VPG 300 DI liggen in academisch en industrieel onderzoek en ontwikkeling, vooral waar flexibiliteit en functionaliteit onder 2 µm vereist zijn [2]. De machine kan worden gebruikt voor product prototyping, MEMS en het maken van structuren met onbeperkte chipgroottes zonder quasi-stitching [2]. Brainport Eindhoven, waar het Holst Centre gevestigd is, staat bekend als een toptechnologieregio [5]. ASML, een ander belangrijk bedrijf in de regio, is gespecialiseerd in de ontwikkeling van machines voor de productie van chips [5].